HITACHI S-9220掃描電子顯微鏡(SEM)

性能規(guī)格：

圖像分辨率：3nm （30A） at 0.8kv 加速電壓
加速電壓范圍：0.5kv 至 1.3kv
工作距離：固定
放大倍率范圍：1 kx 至 300 kx
測量范圍：0.1 至 2.0 u
重現(xiàn)性：3 nM
測量模式：全功能、多功能
吞吐量：45片/小時
SEM 圖像：1kx 至 300kx，保證重現(xiàn)性 40kx ti 200kx
載物臺位置控制：線性刻度反饋

系統(tǒng)配置：

目前配置為 200mm 晶圓尺寸
盒式接口（裝載機(jī)單元）：
Asyst 集成 SMIF
MECS 機(jī)器人/Cntrl
Leybold Turbo 帶控制器

載物臺和檢查單元：X，Y 行程范圍：0 – 200mm

控制單元

系統(tǒng)軟件：

主機(jī)： ： v12.41
SEM： 12.43
IPS： 12.40 （4500）
HV： 04.02
Stage： 01.07
Evac： 2.01
DSP： 11.10
WT： 4.05

支持選項：

缺陷檢測
Mag Max X300k
SECE
自動 Vid
多點(diǎn)測量
保存到 Dos FD
邊緣粗糙度
IP 讀取
孔測量
SMIF
減少掃描
操作員訪問
缺陷類型 KLA
圖像增強(qiáng)
圖像數(shù)據(jù)庫
快速 AFC

MO 驅(qū)動器：640MB
熱敏打印機(jī)
視頻打印機(jī)
SECS/GEM 接口

真空隔離塊和軟管

動力裝置
功率要求：208VAC，6kVA，1相，50A，頻率60 Hz