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RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀是一種高性能的橢圓偏光計，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。以下是其詳細(xì)規(guī)格參數(shù)： 波長：該設(shè)備配備532nm的激光源。 樣品尺寸：適用于12英寸晶圓。 測量功能： 薄膜厚度、折射率、光學(xué)常數(shù)和材料屬性等。 可以進行無損和原位測量，具有出色的重復(fù)性、準(zhǔn)確性和長期穩(wěn)定性。
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